Odwiedzając tę ​​stronę, należy dopuścić stosowanie plików cookie. Więcej na temat naszej polityki cookies.

GOST 24392-80

GOST 33729-2016 GOST 20996.3-2016 GOST 31921-2012 GOST 33730-2016 GOST 12342-2015 GOST 19738-2015 GOST 28595-2015 GOST 28058-2015 GOST 20996.11-2015 GOST 9816.5-2014 GOST 20996.12-2014 GOST 20996.7-2014 GOST R 56306-2014 GOST R 56308-2014 GOST 20996.1-2014 GOST 20996.2-2014 GOST 20996.0-2014 GOST 16273.1-2014 GOST 9816.0-2014 GOST 9816.4-2014 GOST R 56142-2014 GOST R 54493-2011 GOST 13498-2010 GOST R 54335-2011 GOST 13462-2010 GOST R 54313-2011 GOST R 53372-2009 GOST R 53197-2008 GOST R 53196-2008 GOST R 52955-2008 GOST R 50429.9-92 GOST 6836-2002 GOST 6835-2002 GOST 18337-95 GOST 13637.9-93 GOST 13637.8-93 GOST 13637.7-93 GOST 13637.6-93 GOST 13637.5-93 GOST 13637.4-93 GOST 13637.3-93 GOST 13637.2-93 GOST 13637.1-93 GOST 13637.0-93 GOST 13099-2006 GOST 13098-2006 GOST 10297-94 GOST 12562.1-82 GOST 12564.2-83 GOST 16321.2-70 GOST 4658-73 GOST 12227.1-76 GOST 16274.0-77 GOST 16274.1-77 GOST 22519.5-77 GOST 22720.4-77 GOST 22519.4-77 GOST 22720.2-77 GOST 22519.6-77 GOST 13462-79 GOST 23862.24-79 GOST 23862.35-79 GOST 23862.15-79 GOST 23862.29-79 GOST 24392-80 GOST 20997.5-81 GOST 24977.1-81 GOST 25278.8-82 GOST 20996.11-82 GOST 25278.5-82 GOST 1367.7-83 GOST 26239.9-84 GOST 26473.1-85 GOST 16273.1-85 GOST 26473.2-85 GOST 26473.6-85 GOST 25278.15-87 GOST 12223.1-76 GOST 12645.7-77 GOST 12645.1-77 GOST 12645.6-77 GOST 22720.3-77 GOST 12645.4-77 GOST 22519.7-77 GOST 22519.2-77 GOST 22519.0-77 GOST 12645.5-77 GOST 22517-77 GOST 12645.2-77 GOST 16274.9-77 GOST 16274.5-77 GOST 22720.0-77 GOST 22519.3-77 GOST 12560.1-78 GOST 12558.1-78 GOST 12561.2-78 GOST 12228.2-78 GOST 18385.4-79 GOST 23862.30-79 GOST 18385.3-79 GOST 23862.6-79 GOST 23862.0-79 GOST 23685-79 GOST 23862.31-79 GOST 23862.18-79 GOST 23862.7-79 ГОСТ 23862.1-79 GOST 23862.20-79 GOST 23862.26-79 GOST 23862.23-79 GOST 23862.33-79 GOST 23862.10-79 GOST 23862.8-79 GOST 23862.2-79 GOST 23862.9-79 GOST 23862.12-79 GOST 23862.13-79 GOST 23862.14-79 GOST 12225-80 GOST 16099-80 GOST 16153-80 GOST 20997.2-81 GOST 20997.3-81 GOST 24977.2-81 GOST 24977.3-81 GOST 20996.4-82 GOST 14338.2-82 GOST 25278.10-82 GOST 20996.7-82 GOST 25278.4-82 GOST 12556.1-82 GOST 14339.1-82 GOST 25278.9-82 GOST 25278.1-82 GOST 20996.9-82 GOST 12554.1-83 GOST 1367.4-83 GOST 12555.1-83 GOST 1367.6-83 GOST 1367.3-83 GOST 1367.9-83 GOST 1367.10-83 GOST 12554.2-83 GOST 26239.4-84 GOST 9816.2-84 GOST 26473.9-85 GOST 26473.0-85 GOST 12645.11-86 GOST 12645.12-86 GOST 8775.3-87 GOST 27973.0-88 GOST 18904.8-89 GOST 18904.6-89 GOST 18385.0-89 GOST 14339.5-91 GOST 14339.3-91 GOST 29103-91 GOST 16321.1-70 GOST 16883.2-71 GOST 16882.1-71 GOST 12223.0-76 GOST 12552.2-77 GOST 12645.3-77 GOST 16274.2-77 GOST 16274.10-77 GOST 12552.1-77 GOST 22720.1-77 GOST 16274.4-77 GOST 16274.7-77 GOST 12228.1-78 GOST 12561.1-78 GOST 12558.2-78 GOST 12224.1-78 GOST 23862.22-79 GOST 23862.21-79 GOST 23687.2-79 GOST 23862.25-79 GOST 23862.19-79 GOST 23862.4-79 GOST 18385.1-79 GOST 23687.1-79 GOST 23862.34-79 GOST 23862.17-79 GOST 23862.27-79 GOST 17614-80 GOST 12340-81 GOST 31291-2005 GOST 20997.1-81 GOST 20997.4-81 GOST 20996.2-82 GOST 12551.2-82 GOST 12559.1-82 GOST 1089-82 GOST 12550.1-82 GOST 20996.5-82 GOST 20996.3-82 GOST 12550.2-82 GOST 20996.8-82 GOST 14338.4-82 GOST 25278.12-82 GOST 25278.11-82 GOST 12551.1-82 GOST 25278.3-82 GOST 20996.6-82 GOST 25278.6-82 GOST 14338.1-82 GOST 14339.4-82 GOST 20996.10-82 GOST 20996.1-82 GOST 12645.9-83 GOST 12563.2-83 GOST 19709.1-83 GOST 1367.11-83 GOST 1367.0-83 GOST 19709.2-83 GOST 12645.0-83 GOST 12555.2-83 GOST 1367.1-83 GOST 9816.3-84 GOST 9816.4-84 GOST 9816.1-84 GOST 9816.0-84 GOST 26468-85 GOST 26473.11-85 GOST 26473.12-85 GOST 26473.5-85 GOST 26473.7-85 GOST 16273.0-85 GOST 26473.3-85 GOST 26473.8-85 GOST 26473.13-85 GOST 25278.13-87 GOST 25278.14-87 GOST 8775.1-87 GOST 25278.17-87 GOST 18904.1-89 GOST 18904.0-89 GOST R 51572-2000 GOST 14316-91 GOST R 51704-2001 GOST 16883.1-71 GOST 16882.2-71 GOST 16883.3-71 GOST 8774-75 GOST 12227.0-76 GOST 12797-77 GOST 16274.3-77 GOST 12553.1-77 GOST 12553.2-77 GOST 16274.6-77 GOST 22519.1-77 GOST 16274.8-77 GOST 12560.2-78 GOST 23862.11-79 GOST 23862.36-79 GOST 23862.3-79 GOST 23862.5-79 GOST 18385.2-79 GOST 23862.28-79 GOST 16100-79 GOST 23862.16-79 GOST 23862.32-79 GOST 20997.0-81 GOST 14339.2-82 GOST 12562.2-82 GOST 25278.7-82 GOST 20996.12-82 GOST 12645.8-82 GOST 20996.0-82 GOST 12556.2-82 GOST 25278.2-82 GOST 12564.1-83 GOST 1367.5-83 GOST 25948-83 GOST 1367.8-83 GOST 1367.2-83 GOST 12563.1-83 GOST 9816.5-84 GOST 26473.4-85 GOST 26473.10-85 GOST 12645.10-86 GOST 8775.2-87 GOST 25278.16-87 GOST 8775.0-87 GOST 8775.4-87 GOST 12645.13-87 GOST 27973.3-88 GOST 27973.1-88 GOST 27973.2-88 GOST 18385.6-89 GOST 18385.7-89 GOST 28058-89 GOST 18385.5-89 GOST 10928-90 GOST 14338.3-91 GOST 10298-79 GOST R 51784-2001 GOST 15527-2004 GOST 28595-90 GOST 28353.1-89 GOST 28353.0-89 GOST 28353.2-89 GOST 28353.3-89 GOST R 52599-2006

GOST 24392−80

MIĘDZYPAŃSTWOWY STANDARD

KRZEM I GERMAN MONOKRYSZTAŁY

POMIAR JEDNOSTKOWEGO OPORU ELEKTRYCZNEGO METODĄ ЧЕТЫРЕХЗОНДОВЫМ

Wydanie oficjalne

BZ 10−99

IPK WYDAWNICTWO STANDARDÓW Moskwa

OFT 669.782/.783−172:621.317.33:006.354 Grupa В59

MIĘDZYPAŃSTWOWY STANDARD

KRZEM I GERMAN МОНОКРИСТАЛЛ I CZESKI E

GOST

I).мереиис jednostkowego oporu elektrycznego 1 1

czterech зонловым метолом 24392−80

Monocrystalline silicon and germanium.

Measurement of the electrical resistivity by the lour-probe method

ОКСТУ 1770

Data sił POWIETRZNYCH.1СНМЯ 01.01.81

Niniejszy standard określa четырехзондовый metoda pomiaru jednostkowego oporu elektrycznego na płaskiej powierzchni złota w porządku, monokryształ krzemu i niemcy elektronicznego lub дырочного typu przewodności w zakresie wartości jednostkowego oporu elektrycznego od MO-4 Ohm cm do 1 10* Om patrz

Metoda opiera się na pomiarze różnicy potencjałów między dwoma sondami четырехзондовой głowicy pomiarowej zainstalowanej na powierzchni kontrolowanego образна, po przepuszczeniu prądu elektrycznego o określonej wartości przez dwóch innych punktowych sondy, znajdujących się na tej samej powierzchni i obliczania jednostkowego oporu elektrycznego.

(Zmodyfikowana wersja, Zm. Nr 2).

I. APARATURA I MATERIAŁY

Strukturalny schemat instalacji pomiarowej przedstawiono na rysunku.

4

/ — chet ырехзонловая i верительная bramkę on ka: 2 — źródło пасюки kogo deca:

3 — urządzenie do intencji napięcia elektrycznego: 4 — wzór

Измерите.тьная instalacja powinna być аттестована na błąd pomiaru jednostkowego oporu elektrycznego, nie wyższą niż 5%.

1.1. Pomiarowa четырехзондовая głowica z czterema liniowo umieszczonymi końcówkami z węglika wolframu musi być zgodne z wymaganiami podanymi w tabeli. 1.

Tabela 1

Wartość zadana межюндопою odległości cm Dopuszczalne odchylenie межюндопою odległości. % Siła docisku zoila F. N Липейный wymiar pracy плошалки sondy, µm, nie więcej niż
0,159
0.130 11 0.50−2.00 60
0.075
Wydanie oficjalne Przedruk zabroniona

© Wydawnictwo standardów. 1980 £> I P. K. Wydawnictwo standardów. 2001

S. 2 GOST 24392−80

1.2. Źródło prądu stałego, który umożliwia tworzenie w obwodzie pomiarowym prądu elektrycznego zmiennej polaryzacji, muszą być zgodne z wymaganiami podanymi w tabeli. 2. Tabela 2

Górna granica i «меряемого jednostkowego элеюрического oporu p. Ohm cm Всрхннн limit prądu elektrycznego /. A Górna granica mierzonego napięcia elektrycznego V, W Napięcie wejściowe rezystancja miernika Lm. Omów, nie mniej
w-3 1,010-' 2,1 10-1 1I03
1 10-g 1,010-' 2,1−10-3 IOS4
1−10-« 1,010' 2.1 10-3 1 101
1 10° 8,2 10~2 koyu-' IOS6
I101 8,2 10-3 1,010-' Ы0T
MO2 8,2−10-4 1,010-' 110*
NA3 8,2 10* 1,010-' 2−10*
MO* 8,2−10-6 1,010-' na9

1.2.1. Dopuszczalna niestabilność prądu elektrycznego podczas pomiarów powinna być nie więcej niż 0,5%.

1.2.2. Dokładność pomiaru natężenia prądu elektrycznego — nie więcej niż 0.5%.

1.3. Przyrząd do pomiaru napięcia elektrycznego z dokładnością nie większą niż 1% musi być zgodne z wymaganiami podanymi w tabeli. 2.

1.4. Rezystancja izolacji pomiarowej schematu powinno być nie mniej oporu wejściowego miernika.

1.5. Pomocnicze urządzenia i materiały

Termometr z błędem pomiaru nie większym niż 0,5 *C.

Materiały ścierne według GOST 3647.

Narzędzia diamentowe z zastosowaniem proszków diamentowych według GOST 9206.

Proszki diamentowe.

Papier filtr według GOST 12026.

Papier zbierają.

Bawełniane bielone według GOST 2929S.

Materiał wytrzeć-out — opakowania, tkaniny art. 6313 lub 6304.

Woda butelkowana według GOST 2874*.

Alkohol etylowy według GOST 18300.

Dopuszcza się stosowanie narzędzi i materiałów, nie są gorsze od międzynarodowych powyższych cech i jakości.

2. PRZYGOTOWANIE PRÓBEK I WARUNKI PRZEPROWADZENIA POMIARÓW

2.1. Pomiary przeprowadza się na płaskich powierzchniach, mających parametr chropowatości Ra w GOST 2789 nie więcej niż 2.5 μm. Pomiar jednostkowego oporu elektrycznego krzemu typu p przewodności z p ponad 10J Ω cm przeprowadza się na płaskich powierzchniach z opcją wykończenia R. w zakresie (20

2.1. G w Celu zapewnienia wymaganej chropowatości powierzchni образны szlifowane ściernymi lub narzędziami diamentowymi z zastosowaniem proszków diamentowych.

2.1.2. Po szlifowaniu próbki umyć pod bieżącą pitnej lub czystej technicznej wodą, suszy filtracyjnej (blot) papierem lub innymi materiałami oczyścić i odtłuścić spirytusem.

2.2. Podczas wykonywania pomiarów odległość między krawędzią (granicą płaszczyzny) i najbliżej niego sondą musi być co najmniej 4 /0, gdzie /0 — wartość zadana межзондового odległości.

2.3. Podczas pomiaru jednostkowego oporu elektrycznego w tworzącej wlewki szerokość ścieżki pomiarowej musi być co najmniej 6 /0.

2.4. Pomiary wykonać przy stałej temperaturze (23±2) 'S. Kontrolowane образны dostosowane do temperatury, w której przeprowadza się pomiary. Dopuszcza się przeprowadzenie pomiaru-

1

Na terytorium Federacji Rosyjskiej działa GOST R 51232−98.

GOST 24392−80 S. 3

ków, przy stałej z dokładnością ±0,5 'O temperaturze w zakresie (23±5) «Z, wykonywanie dobrej korekcji wyników pomiarów zgodnie z aplikacją.

2.5. Pomiar jednostkowego oporu elektrycznego niemcy z p ponad 45 Омсм i krzemu z p ponad 200 Ohm cm wykonują przy tzw. crossfadingu próbki. Dla pozostałych zakresów jednostkowego oporu elektrycznego jest dozwolone oświetlenie próbki światłem rozproszonym nie więcej niż 500 lx.

3. PRZEPROWADZENIE POMIARÓW I PRZETWARZANIA WYNIKÓW

3.1. Na powierzchnię próbki, zamontowanego w uchwycie, płynnie zanurza sondy pomiarowej głowicy prostopadle do powierzchni.

3.2. Przez próbkę przepuszczają prąd elektryczny / i mierzą wartość różnicy потенциачов między wewnętrznymi potencjalnymi sondami po dwóch полярностях prądu elektrycznego. Za wynik pomiaru różnicy potencjałów U przyjmuje się średnią arytmetyczną otrzymanych wartości. Wartość prądu elektrycznego ustalane zgodnie z wymaganiami tabeli. 2.

3.3. Obliczają wartość jednostkowego oporu elektrycznego r, Ω cm, wg wzoru (1)

gdzie: U — wartość różnicy potencjałów. W:

/- wartość prądu, przy którym przeprowadzono pomiary. L;

/, ff — skuteczna wartość межзондового odległości, obliczana według wzoru (2)

(2)

gdzie /, /2, /3 — odległość pomiędzy pierwszym i drugim, drugim i trzecim, trzecim i czwartym sondami

odpowiednio.

Podczas korzystania z четырехзондовой głowicy, której odchylenie межзондового odległości od nominalnej wartości /0 nie przekracza ±1%, do wzoru (2) wystawiają wartość / = /0.

3.4. Dopuszcza się przeprowadzenie pomiarów i przetwarzania wyników z wykorzystaniem środków automatyzacji algorytmem, изложенному w tym standardzie.

Rozdz. 1−3. (Zmodyfikowana wersja, Zm. Nr 2).

4. PREZENTACJA WYNIKÓW POMIARÓW I NORMY NA WSKAŹNIKI PRECYZJI

4.1. Wynikiem pomiaru gęstości elektrycznego сопротиаления яашется wartość obliczona na podstawie wzoru (I).

4.2. Losowy składnik błędu pomiaru gęstości elektrycznego сопротиале-nia, który charakteryzuje схолимость wyników pomiaru, nie przekracza ±2% przy pełnej zaufania prawdopodobieństwa P = 0.95.

4.3. Całkowity błąd pomiaru nie przekracza ±5% przy kontroli próbek z r<103 Ohm cm i nie większa niż ±8% w przypadku kontroli próbek z określonego oporu elektrycznego ponad 103 Ohm cm przy zaufania prawdopodobieństwa P = 0.95.

4.4. Wynik pomiaru jednostkowego oporu elektrycznego предстааляют trzycyfrową liczbą, jeśli pierwszą cyfrą яаляются 1, 2, 3, i dwucyfrowy, jeśli pierwsza cyfra ponad 3.

Rozdz. 4. (Wprowadzony dodatkowo. Zm. Nr 2).

S. 4 GOST 24392−80

APLIKACJA

Obowiązkowe

Wynik pomiaru jednostkowego oporu elektrycznego powodują temperaturze ^ = 23 'Z według wzoru

Wp (3)

0 *! — (/- %) '

gdzie r — opór elektryczny. Omów cm;

Z — współczynnik temperaturowy (tab. 1, 2);

/ — nominalna temperatura w przedziale (23±5) 4; p — jednostkowa элскгрическое opór przy 23 'S. g*

Wynik pomiaru jednostkowego oporu elektrycznego może być podany do każdej nominalnej temperaturze w granicach zakres (23±5) S

Tabela I

Temperatury коэффиииет dla krzemu Ишерпал jednostkowego oporu elektrycznego

o

z

p

w

0.0001 -0.004 0.004 — 0.04 0.04−0.1 0.1−1.0   1.0−10.0 10,0−10000

l-typ,

1/grade

 0,002 0.001 0.004 0.006   0.008 0.008

typu p,

1/grade

 0.001 0.001 0,003 0,006   0,008 0.009

Таблипа 2

Тсмиер: пурный do >ффиииен ■ dla niemiec Ишерпал jednostkowego oporu elektrycznego. Omów cm
0.0001−0.001 0.001−0.01 0.01−0.1 0.1−1.0 1.0−10 10−100
ja-1/grade 0,002 0,001 0,004 0.006   0.006 0.006
p-1/grade 0,002 0.002 0,004 0,007   0,008 0.008

APLIKACJA. (Zmodyfikowana wersja, Zm. Nr 2).

GOST 24392−80 S. 5

ИНФОРМАЦИОННЫ E DANE

1. OPRACOWANY I PRZEDSTAWIONY przez Ministerstwo hutnictwa ZSRR

2. ZATWIERDZONY I WPROWADZONY W życie Rozporządzeniem Państwowego komitetu ZSRR według standardów od 15.09.80 nr 4705

3. GOST 24392−80 zgodne z ST СЭВ 1250−78

4. WPROWADZONY PO RAZ PIERWSZY

5. ODNOŚNE REGULACJE-DOKUMENTY TECHNICZNE

Обошачеимс NTD. na którym dana link Pokój pkt Обошаченме NTD. nm, który lama link Pokój pkt
GOST 2789−73 2.1 GOST 12026−76 1.5
GOST 2874−82 1.5 GOST 18300−87 1.5
GOST 3647−80 1.5 GOST 29298−92 1.5
GOST 9206−80 1.5

6. Ograniczenia okresu ważności cięcie na Protokół)' Nr 5−94 Międzypaństwowej Rady, ale standaryzacji. metrologii i certyfikacji (ICC 11−12−94)

7. WYDANIE (marzec 2001 r.) ze Zmianami Nr I, 2, zatwierdzone w maju 1985 r., pielęgniarce 1990 r. (ИУС 8−85, 10−90)

Edytor Itp. Шашипа redaktor Techniczny L. L. Гусгша Korektor w. E. Нестерова Komputerowy układ L. A. Okrągłe

Nad. N: 1)2354 od 1−1.07.2000. Wymienic komplet 10.04.2001. Podpisano do druku 20.04.2001. Jako agenta i przyjaciela. wyd. moc 0.93.

Uch.*itl. ja. 0,50. Nakład 117 g. Z 816. Zack. 455.

IPK Wydawnictwo standardów 107076. Moskwa. Колодезник per… 14.

Наордио i Wydawnictwie na PC Oddział IPK I тдатсльство standardów typu. «Moskiewski drukarz*. 103062. Moskwa. Лялин per… 6.

Pcr 0S0I02